目前，简单的微流控装置是通过将具有微通道的聚合物(通过复制软光刻成型)与平板表面(例如载玻片)结合而构成的。用光刻复制成型制作微流控芯片的常见聚合物是PDMS。PDMS透明，生物相容性好，(与隆胸使用的硅橡胶非常相似)，是一种可变形廉价的弹性体。浇注成型与玻璃容易结合。由于这些优点，被广泛应用于研究室。制作简单的微流控设备微芯片需要几个步骤，本文介绍了用软光刻技术制作微流控芯片的方法。
1、微流控芯片通道设计：
微芯片的制造，首先需要用专用软件设计微通道。设计完成后，可以通过激光直写技术转移到口罩上的：常见的模板是镀铬玻璃板或塑料薄膜。这个可以交给专业的制造商。因此，微细结构用UV不透明油墨印刷(基材为塑料薄膜时)，或蚀刻成铬。
2、用光刻法制备微芯片阳模：
该步骤将掩模上的微结构转移到模具中形成微通道。微结构被“雕刻”在模具中，通过复制工艺形成与“雕刻”结构相反的微通道，转移到制造微芯片的材料中。
（1）清漆树脂应按平面所需厚度涂抹
（2）将口罩放在光致抗蚀剂上，贴紧后用紫外光曝光。因此，像SU-8这样的负型树脂，暴露在紫外光下固化的代表性通道只有一部分，模具的其他部分由不透明区域的掩模保护。
（3）将模具浸渍在能够蚀刻不暴露于紫外光的树脂区域的溶剂中，完成显影工序。
（4）我们得到了具有微流控结构的阳模具，并有口罩上图案的光胶复制品(微通道在模具上制作浮雕)。通道的高度由晶片板上的原光粘接剂的厚度决定。然后，用硅烷处理模具，以便在成形工序中容易脱模(参照下一节)。
3、微芯片成型：
（1）成型工艺允许模具批量生产微芯片。
（2）PDMS液体和交联剂(用于固化PDMS)的混合物倒入模具中，高温加热。
（3）PDMS固化后，可从模具上拆下。获取具有微通道的PDMS块。
（4）微流控设备的输入输出用与连接管路大小相同的PDMS打孔器打孔，以便能注入流体进行将来的实验。
（5）对带有微通道的PDMS块的表面和载玻片进行等离子体处理。
（6）通过等离子处理，将PDMS与玻璃永久结合，形成密闭的微芯片。该芯片目前正在准备连接微流控储液槽和泵的微流体管。Tygon管和Teflon管是常用的微流体管。